硅片抛光片与外延片区别是什么,抛光片和外延片的区别
抛光片可以用于制作存储芯片,功率器件,以及外延片的衬底材料。外延片,是在抛光片的基础上生长了一层单晶硅,一般用于通用处理器芯片,二极管,以及igbt功率器件的制造。由于抛光原始颗粒细微、粒度尺寸小于可见光的波长。
大家好,今天小编在百度知道关注到一个比较有意思的话题,就是关于抛光片的问题,于是小编就整理了3个相关介绍抛光片的解答,让我们一起看看吧。
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一、硅片抛光片与外延片区别是什么
摘要:硅片可分为抛光片、外延片、SOI硅片等。抛光片(PW):由单晶硅棒经过切割、研磨、抛光等工艺而产出。抛光片应用广泛,目前半导体行业所使用的硅片70%都为抛光片,既可直接用于制作存储芯片搜搏与功率器件等半导体器件,又可作为外延片、SOI片的衬底材料念漏告。接下来本文将简单介绍硅片抛光片与外延片区别是什么以及硅片抛光片用于哪里,快和我一起到文中来看看吧!一、硅片抛光片与外延片区别是什么
根据用途分类,半导体硅片可分为抛光片、退火片、外延片、结隔离片和以SOI硅片为代表的高端硅片。那么硅片抛光片与外延片区别是什么呢?
抛光片可以用于制作存储芯片,功率器件,以及外延片的衬底材料。外延片,是在抛光片的基础上生长了一层单晶硅,一般用于通用处理器芯片,二极管,以及igbt功率器件的制造。由于抛光原始颗粒细微、粒度尺寸小于可见光的波长,所以均匀地分布后形成外观透明或半透明的抛光膜。
二、硅片抛光片用于哪里
抛光片是用量最大的产品,其他的硅片产品都是在抛仔明光片的基础上二次加工产生的。
抛光片是最基础、应用范围最广的硅片。抛光片可直接用于制作半导体器件,广泛应用于存储芯片与功率器件等,也可作为外延片、SOI硅片等其他类型硅片的衬底材料。
随着集成电路特征线宽的不断缩小,光刻精度日益精细,硅片上极其微小的不平整都会造成集成电路图形的形变和错位,硅片制造技术面临越来越高的要求和挑战,硅片表面颗粒度和洁净度对半导体产品的良率也有直接影响。
因此,抛光工艺对提高硅片表面的平整度和清洁度至关重要,主要原理为通过去除加工表面残留的损伤层,实现半导体硅片表面平坦化,减小粗糙度。
二、抛光片和外延片的区别
抛光片可以用于制作,功率器件,以及的衬底材料。外延片,是在抛光片的基础上生长了一层,一般用于通用处理器芯片,,以及igbt功率器件的制造。由于抛光原始颗粒细微、粒度尺寸小于可见光的波长,所以均匀地分布后形成外观透明或半透明的抛光膜。
抛光片使用方法
使用时只需添加纯净水作为抛光介质。在抛光过程中,抛光膜的纳米涂层会逐渐地释放出抛光颗粒,参与抛光作用,使光纤端面达到高度光滑。抛光膜可以重复使用多次,但是根据抛光机的类型、抛光条件、抛光质量要求的不同,使用次数也销碰不相同。精磨后的光纤端面没有任何异常深划伤或者缺陷。
彻底清洁研磨机搏念夹具和橡胶垫等部位,尤其保证橡胶垫表面完好,没有异物;向橡胶垫表面喷洒适量得纯净水,用亏银谈无尘纸均匀擦试,当表面初干后,马上把抛光膜贴在上面;向抛光膜表面均匀喷洒少量的纯净水,用无尘纸均匀擦试,赶出抛光膜下面的空气;用压缩空气吹扫抛光膜表面,除去灰尘或者异物。
"抛光片"和"外延片"都是在材料科学和半导体技术领域常见的术语。这两者的主要区别在于雀孝制造过程和使用途径。
1. 抛光片:抛光片,如名字所示,是经过特殊的抛光处理以达到平滑表面的硅片。抛光处理不仅使硅片表面平滑,也有助于消除硅片内部的晶格缺陷和应力。抛光片主要用于微电子制造、光电子器件和一些科学实验。
2. 外延片:外延片是指在单晶基片上通过化学或物理手段沉积一层或多层材料形成的片材,这种新形成的材料层会继承基片的晶格结构,也就是说,它是在基片上“外延”生长的。这种片材在半导体工业中有很多用顷亏稿途,比如用于制空者造高性能的半导体设备。
三、抛光片是什么?
简单的说抛光片是用来做物品表面磨光的一种埋消辅助工具!广泛应用于建材、家具、日帆念常用品、机械加工等领域!而抛光片的规格和型号也不尽相同,以满足不同需要而定...生活中我们看到最多的是石材加工、不锈态液困钢加工等!
抛光片就是把一块铁板经过打磨等等工艺后最后出来的东西一些建筑上面用得很多的
抛光片,是经过特殊的抛光处理以达到平滑表面的硅片。抛光处理不仅使硅片表面平滑,也有助于消除硅片内部的晶格隐坦者缺陷和应力。抛光片主要用于微电子制造、光电子器件和一灶薯些信扮科学实验。
抛光片
<用途>
光学玻璃、眼镜镜片、液晶用玻璃和帆肢老其他玻璃材料的精密抛光
不锈钢等金属、塑料、宝石、石英等材料的表面抛光
硅、锗等半导体单晶片的镜面抛光
剃须刀等的最终抛光
<特点>
优异的耐磨性·······能缩饥培短抛光时间并降低成本
种类多,用途广······有多种不同的型号,应用广泛
质量稳定·········在生产过程中严格控制质量,保证了抛光片质量稳定
快速抛光··········具有完美的高速抛光和高负重抛光
<尺寸·形状>
标准尺寸:700x700mm
形状:片状或者块状二种
<厚度> 厚度分别为 0.5 0.8 1.0 1.25 1.5 2.0 3.0 4.0 5.0mm
<二次加工产品> 可进行薄膜加工、开孔加工、沟槽加工。
KSP66A KSP66B KSP90 7NP80 7NP85 7NP90 7NPB85 备注
密度(g/cm3) 0.40 0.47 0.6 0.6 0.6 0.6 0.65 JIS K7222
硬度(JIS-A) 80 83 95 80 88 94 87 K6253
硬度(肖氏-D) 25 26 60 25 30 55 30 ASTM D-2240
拉伸强度(kgf/cm2) 40 45 100 45 55 95 55 K6251
延展(%) 50 60 55 100 70 30 75 K6251
撕裂强度(kgf/cm) 25 30 70 35 50 65 50 K6252
磨粒含有量(%) 23
(CeO2) 23
(CeO2) 0 20
(CeO2) 20
(CeO2) 0 7.5
(Fe2O3)
注:上述物态升理参数为代表数值,并非规格数值。
到此,以上就是小编对于抛光片的问题就介绍到这了,希望介绍关于抛光片的3点解答对大家有用。